研磨機台+小鋼珠

有几台研磨机加载后转不动了。空载可以转动,转速也正常,不

发贴时间：2008年6月10日...

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化学机械研磨机台

1.一种化学机械研磨机台,所述机台包括:一研磨台,以一方向旋转;一研磨垫,设于所述研磨台上;一晶片,置于所述研磨垫上,所述晶片具有一背面与一正面,而所述晶片的正面与所述...

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用于研磨机台的晶圆压力调整系统

1、一种控制压力的调整系统,适用于一个研磨机台上,其特征在于:该控制压力的调整系统包括:一晶圆承载头,以握住欲进行研磨的一晶圆;一压板,面对压着欲进行研磨的该晶圆;一...

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