碳化硅粉的工艺流程

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请教生产多晶硅需要的碳化硅微粉的生产工艺和流程。百度知

生产多晶硅不需要碳化硅,碳化硅是生产多晶硅过程中产生的副产物,在一定程度上影响多晶硅的质量,生产多晶硅需要工艺硅粉,进行氢化反应,你说的应该工业硅粉吧!...

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