氮化硅的生产工艺及设备

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1个回复 发贴时间：2011年11月26日...

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氮化硅粉体转相工艺及系统,该系统是在等离子体化学气相法生产无定型氮化硅粉体工艺 外加气体对等离子体降解水相中有机污染物的影响研究[J];环境污染治理技术与设备;20...

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1 01136305 纳米级氮化硅复合材料发热体及制作工艺 [摘要]本发明是对氮化硅发热体的 实现了对反应情况的控制.新生产工艺和原工艺相比,其优点在于可使原设备生产能力提...