磨料的弹性发射加工结果 EEM加工实现了原子单位去除加工,达到高平面度、高平滑的表面创成。对硅片、GaAs片、TiC进行加工,表面没有加工硬化层缺陷;平面度达数纳米;加...
免费在线咨询近年来,为加工表面质量要求极高的新型电子元件等材料,开发了原子分离与沉积等新的加工方法。本文提出的弹性发射加工(Elestic Emission Machining,简称EEM)方法是一种原...
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免费在线咨询1.2 弹性发射加工技术研究现状17 19 1.2.1 弹性发射加工的实验研究17 18 1.2.2 弹性发射加工的理论研究18 1.2.3 目前存在的问题18 19 1.3 课题来源、研究目标及论文主要研...
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免费在线咨询3几种纳米级研磨加工方法 3.1弹性发射加工弹性发射加工装置(Elastic Emissi on Machining,EE. 弹性发射加工示意图 文件格式:PPT/Microsoft Powerpoint 弹性发射加工(EEM)...
免费在线咨询目前已经研究出多种可以获得高精度表面的加工方法,其中典型的有塑性研磨、化学抛光、浮法抛光、弹性发射加工、粒子束抛光、射流抛光等等。但这些加工方法或者抛光效...
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